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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5252578(A)
申请公布日期
1977.04.27
申请号
JP19750128392
申请日期
1975.10.27
申请人
HITACHI LTD
发明人
MINAGAWA SHINJI
分类号
H01L23/32;H01L23/00;H01L23/34;H01L23/40
主分类号
H01L23/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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