发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING PLATE-SHAPED OBJECTS
摘要
申请公布号 GB1471574(A) 申请公布日期 1977.04.27
申请号 GB19740030646 申请日期 1974.07.10
申请人 UDDEHOLMS AB 发明人 HOLM K A
分类号 B08B7/04;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):B08B1/02;B08B1/04;B08B3/04;C23G5/02;B08B3/02;B08B3/08 主分类号 B08B7/04
代理机构 代理人
主权项
地址