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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5251872(A) 申请公布日期 1977.04.26
申请号 JP19750128100 申请日期 1975.10.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UENO ATSUSHI;KUNINOBU SHIGEROU
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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