发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5250692(A) 申请公布日期 1977.04.22
申请号 JP19750126351 申请日期 1975.10.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKEDA TAKAHIDE
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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