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发明名称 PROCESSING METHOD OF SEMICONDUCTOR UNIT OR SEMICONDUCTOR UNIT PARTS
摘要
申请公布号 JPS5250160(A) 申请公布日期 1977.04.21
申请号 JP19750126522 申请日期 1975.10.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 KUWAGATA MASAHIRO;YAMADA MASAO;NAKADA SHIYUUJI;NAKAMURA KENICHIROU;KAWAKAMI YORISADA
分类号 H05K3/26;H01J23/10;H01L21/308 主分类号 H05K3/26
代理机构 代理人
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