发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5369584(A) 申请公布日期 1978.06.21
申请号 JP19760144660 申请日期 1976.12.03
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TSUJI ISAMU;TSUKAGOSHI TSUNEO
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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