| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5247675(A) |
申请公布日期 |
1977.04.15 |
| 申请号 |
JP19750124100 |
申请日期 |
1975.10.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KONUMA TSUYOSHI;SUGAWA TOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/316;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
