| 发明名称 |
IMPROVEMENT IN INDUSTRIAL TREATING MEANS BY GLOW DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5247532(A) |
申请公布日期 |
1977.04.15 |
| 申请号 |
JP19750123902 |
申请日期 |
1975.10.15 |
| 申请人 |
CHIYUUBU DENKI SEISAKUSHIYO KK |
发明人 |
KAWAGUCHI HIROSHI |
| 分类号 |
H05B7/16;C23C8/36;F27D11/08;H01L21/265 |
主分类号 |
H05B7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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