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经营范围
发明名称
INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS5247682(A)
申请公布日期
1977.04.15
申请号
JP19750123240
申请日期
1975.10.15
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
HIRASAWA MASATAKA
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/082
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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