| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCTION OF SILICON CRYSTAL FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5247673(A) |
申请公布日期 |
1977.04.15 |
| 申请号 |
JP19750123313 |
申请日期 |
1975.10.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITOU TADASHI;KODERA NOBUO;MINAGAWA SHIGEKAZU;TOKUYAMA KON;MIYAZAKI TAKAO;ITOU HARUO;TAMURA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/203;H01L21/208;H01L21/324;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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