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发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5246765(A) 申请公布日期 1977.04.13
申请号 JP19750123003 申请日期 1975.10.13
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 MIYASAKA TSUGUMITSU
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/285;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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