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发明名称
ARTICLE ADSORBING MECHANISM
摘要
申请公布号
JPS5245873(A)
申请公布日期
1977.04.11
申请号
JP19750120708
申请日期
1975.10.08
申请人
HITACHI LTD
发明人
ITOU OSAMU;ARAI FUMIO
分类号
H01L21/67;H01L21/68;H05K13/02
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
主权项
地址
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