发明名称 ARTICLE ADSORBING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPS5245873(A) 申请公布日期 1977.04.11
申请号 JP19750120708 申请日期 1975.10.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITOU OSAMU;ARAI FUMIO
分类号 H01L21/67;H01L21/68;H05K13/02 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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