发明名称 |
SILICON MECHANICALLELECTRICAL CONVERTER |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5245377(A) |
申请公布日期 |
1977.04.09 |
申请号 |
JP19750120660 |
申请日期 |
1975.10.08 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIMASOE MICHITAKA;NAKAMURA KOUSUKE;MATSUSHITA YASUO;YAMADA KAZUJI;TAKAHASHI YUKIO |
分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|