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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ALPHA- SILIZIUM-NITRID-PULVER (ALPHA-SI TIEF 3 N TIEF 4 -PULVER)
摘要
申请公布号
DE2642554(A1)
申请公布日期
1977.04.07
申请号
DE19762642554
申请日期
1976.09.22
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD.
发明人
KOMEYA,KATSUTOSHI;INOUE,HIROSHI;OHTA,TAKAO
分类号
C04B35/626;C01B21/068;C04B35/584;(IPC1-7):C01B21/06
主分类号
C04B35/626
代理机构
代理人
主权项
地址
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