发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ALPHA- SILIZIUM-NITRID-PULVER (ALPHA-SI TIEF 3 N TIEF 4 -PULVER)
摘要
申请公布号 DE2642554(A1) 申请公布日期 1977.04.07
申请号 DE19762642554 申请日期 1976.09.22
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD. 发明人 KOMEYA,KATSUTOSHI;INOUE,HIROSHI;OHTA,TAKAO
分类号 C04B35/626;C01B21/068;C04B35/584;(IPC1-7):C01B21/06 主分类号 C04B35/626
代理机构 代理人
主权项
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