| 发明名称 |
RASTERELEKTRONENMIKROSKOP ZUR KONTROLLE VON OBJEKTSTRUKTUREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2635356(A1) |
申请公布日期 |
1977.04.07 |
| 申请号 |
DE19762635356 |
申请日期 |
1976.08.06 |
| 申请人 |
JENOPTIK JENA GMBH |
发明人 |
HOCH,WOLFGANG;WILD,GERHARD |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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