发明名称 INDUKTIVE PLASMAANREGUNG
摘要
申请公布号 DE1639273(B2) 申请公布日期 1977.04.07
申请号 DE196800J5576 申请日期 1968.01.24
申请人 发明人
分类号 H01S3/09;H01S3/03;H01S3/0975;(IPC1-7):H05H1/18 主分类号 H01S3/09
代理机构 代理人
主权项
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