发明名称 SCANNING ELECTRONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5244158(A) 申请公布日期 1977.04.06
申请号 JP19750118867 申请日期 1975.10.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAGATANI TAKASHI;YAMADA MITSUHIKO
分类号 H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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