发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCTIN OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5244163(A) |
申请公布日期 |
1977.04.06 |
申请号 |
JP19750118851 |
申请日期 |
1975.10.03 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAYASHI TADANOBU;OKANO SADAO;WAJIMA KOUICHI |
分类号 |
H01L21/322;H01L21/22;H01L21/324;H01L29/74;H01L29/861 |
主分类号 |
H01L21/322 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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