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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5248357(U)
申请公布日期
1977.04.06
申请号
JP19750135098U
申请日期
1975.10.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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