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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5211876(B2) 申请公布日期 1977.04.02
申请号 JP19710083292 申请日期 1971.10.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/72 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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