发明名称 |
METHOD OF CHANGING SHAPE OF IMPURITY ADDED OXIDE LAYER ON SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5242373(A) |
申请公布日期 |
1977.04.01 |
申请号 |
JP19750116003 |
申请日期 |
1975.09.27 |
申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
DONARUDO REONAADO TORIBAA;UIRIAMU EDEI AAMUSUTORONGU |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/283;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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