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发明名称 METHOD OF PREVENTING OCCURENCE OF CRYSTAL DEFECTS OF SILICON WAFERS
摘要
申请公布号 JPS5242366(A) 申请公布日期 1977.04.01
申请号 JP19750118143 申请日期 1975.09.30
申请人 SONY CORP 发明人 HAYAFUJI TAKANORI;KAWATO SEIJI
分类号 H01L21/322;H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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