| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5242079(A) |
申请公布日期 |
1977.04.01 |
| 申请号 |
JP19750117898 |
申请日期 |
1975.09.30 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
HORIUCHI SHIGEHARU |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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