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VERFAHREN ZUR INDUZIERUNG EINES LEITFAEHIGKEITSTYPS IN EINEM HALBLEITER
摘要
申请公布号
DE1621272(B2)
申请公布日期
1977.03.31
申请号
DE1967J035252
申请日期
1967.12.18
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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