发明名称 VERFAHREN ZUR INDUZIERUNG EINES LEITFAEHIGKEITSTYPS IN EINEM HALBLEITER
摘要
申请公布号 DE1621272(B2) 申请公布日期 1977.03.31
申请号 DE1967J035252 申请日期 1967.12.18
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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