| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES POSITIVEN RESISTBILDES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2642269(A1) |
申请公布日期 |
1977.03.31 |
| 申请号 |
DE19762642269 |
申请日期 |
1976.09.21 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
HI?OKA,HIROYUKI |
| 分类号 |
C08F8/00;C08F8/30;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):03F7/10 |
主分类号 |
C08F8/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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