发明名称 INTEGRIERTE HALBLEITERSTRUKTUR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2639465(A1) 申请公布日期 1977.03.31
申请号 DE19762639465 申请日期 1976.09.02
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 GLANG,REINHARD;IRWIN RAIDER,STANLEY
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/283;H01L21/3115;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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