| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5240968(A) |
申请公布日期 |
1977.03.30 |
| 申请号 |
JP19750116350 |
申请日期 |
1975.09.29 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
SHIMA SHIYOUHEI;HIGASHINAKAGAHA IWAO;INOMATA SUEKICHI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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