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发明名称 PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5240983(A) 申请公布日期 1977.03.30
申请号 JP19750116793 申请日期 1975.09.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TANIGAWA EIKI
分类号 H01L21/336;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/283;H01L21/318;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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