发明名称 METHOD OF FORMING POROUS SILICON LAYER
摘要
申请公布号 JPS5240985(A) 申请公布日期 1977.03.30
申请号 JP19750116993 申请日期 1975.09.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOMIOKA TATSUYUKI;YUIGAMI NOBORU;HATSUTORI KOUDOU;YAMASHITA KIYOHARU
分类号 H01L21/76;H01L21/306;H01L21/3063 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址