| 发明名称 |
METHOD OF ADJUSTING OBJECTIVE LENS FOCAL POINT OF TRANSMISSION SCANNING PARTICLE BEAM MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5238878(A) |
申请公布日期 |
1977.03.25 |
| 申请号 |
JP19760107197 |
申请日期 |
1976.09.07 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
KARURUHAINTSU MIYURAA;RAINHARUTO SHIYURIIBE;FUORUKAA RINTOFURAISHIYU |
| 分类号 |
H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/153 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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