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发明名称
摘要
申请公布号
FR2278162(B1)
申请公布日期
1977.03.25
申请号
FR19740024079
申请日期
1974.07.11
申请人
ETAT FRANCAIS
发明人
分类号
G01T1/24;H01L31/00;(IPC1-7):H01L31/08
主分类号
G01T1/24
代理机构
代理人
主权项
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