| 发明名称 |
RAPID PUMPDOWN FOR HIGH VACUUM PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0095367(B1) |
申请公布日期 |
1989.01.04 |
| 申请号 |
EP19830302950 |
申请日期 |
1983.05.23 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES, INC. |
发明人 |
HOLDEN, SCOTT CARLETON;TURNER, NORMAN LEONARD |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/24;C23C14/48;C23C14/56;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/18 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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