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发明名称 PRODUCTION METHOD OF SILICON HOLLOW BODY
摘要
申请公布号 JPS5237523(A) 申请公布日期 1977.03.23
申请号 JP19760087373 申请日期 1976.07.23
申请人 WACKER CHEMITRONIC G FUR ELEKT GRUNDSTOFFE MBH 发明人 RUDORUFU GURIESUHAMAA;FURANTSU KOTSUPURU;AROISU GOTSUPINGAA;HERUMUTO HAMUSUTAA;JIYOSEFU SARUMEIYAA
分类号 C01B33/02;C01B33/035;C23C16/22;C23C16/24;C30B31/10;H01L21/205 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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