| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET FOCUSSEREN VAN DE OBJECTIEF- LENS VAN EEN DEELTJESSTRAAL-RASTERMICROSCOOP EN INRICHTING VOOR HET AUTOMATISCH UITVOEREN VAN DEZE WERKWIJZE. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7610327(A) |
申请公布日期 |
1977.03.22 |
| 申请号 |
NL19760010327 |
申请日期 |
1976.09.16 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT TE BERLIJN EN MUENCHEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/21;H01J37/14;H01J37/15 |
主分类号 |
H01J37/153 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
