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发明名称 METHOD OF ETCHING
摘要
申请公布号 JPS5236979(A) 申请公布日期 1977.03.22
申请号 JP19760110925 申请日期 1976.09.17
申请人 ITT 发明人 RORUFU AUGUSUTO HERUBERUTO HAINETSUKE;JIEFURII ROORENSU ASHIYUKUROFUTO
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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