发明名称 MANUFACTURING PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5235584(A) 申请公布日期 1977.03.18
申请号 JP19750111219 申请日期 1975.09.13
申请人 SONY CORP 发明人 TSUYUKI TADAHARU;YABUKI YOSHIBUMI
分类号 H01L29/73;H01L21/302;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/36;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址