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发明名称
METHOD OF FORMING SLIDING SURFACE IN VACUUM APPARATUS
摘要
PURPOSE:A method of firmly coating a lubricant on a sliding surface in a vacuum apparatus.
申请公布号
JPS5235775(A)
申请公布日期
1977.03.18
申请号
JP19750112287
申请日期
1975.09.17
申请人
OKAZAKI YUKIHIKO
发明人
OKAZAKI YUKIHIKO
分类号
C23C14/24;C23C14/32
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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