发明名称 |
PROCEDE POUR ELIMINER DES DEFAUTS DE STRUCTURE CRISTALLINE PARTICULIERS DANS DES PLAQUETTES DE SEMI-CONDUCTEUR |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2321325(A1) |
申请公布日期 |
1977.03.18 |
申请号 |
FR19760024886 |
申请日期 |
1976.08.16 |
申请人 |
WACKER CHEMITRONIC ELEKTRONIK |
发明人 |
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分类号 |
C30B33/00;H01L21/322;(IPC1-7):B01J17/00 |
主分类号 |
C30B33/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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