发明名称 PROCEDE POUR ELIMINER DES DEFAUTS DE STRUCTURE CRISTALLINE PARTICULIERS DANS DES PLAQUETTES DE SEMI-CONDUCTEUR
摘要
申请公布号 FR2321325(A1) 申请公布日期 1977.03.18
申请号 FR19760024886 申请日期 1976.08.16
申请人 WACKER CHEMITRONIC ELEKTRONIK 发明人
分类号 C30B33/00;H01L21/322;(IPC1-7):B01J17/00 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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