发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0278276(A) 申请公布日期 1990.03.19
申请号 JP19880228679 申请日期 1988.09.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUME HITOSHI;ADACHI TETSUO;KAMIGAKI YOSHIAKI;TSUKADA TOSHIHISA;KOMORI KAZUHIRO;NISHIMOTO TOSHIAKI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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