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发明名称 HALBLEITERSPEICHERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3930639(A1) 申请公布日期 1990.05.17
申请号 DE19893930639 申请日期 1989.09.13
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OKUMURA, YOSHINORI;MATSUKAWA, TAKAYUKI;OGOH, IKUO;NAGATOMO, MASAO;GENJO, HIDEKI;HACHISUKA, ATSUSHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/3205;H01L21/8242;H01L23/52;H01L23/532;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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