发明名称 FREMGANGSMADE TIL FREMSTILLING AF SILICIUMHULLEGEMER
摘要
申请公布号 DK372976(A) 申请公布日期 1977.03.17
申请号 DK19760003729 申请日期 1976.08.18
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FYR EL-GRUNDST MBH 发明人 GRIESSHAMMER R;KOPPL F;GOPPINGER A;THALMEIER J;HAMSTER H
分类号 C01B33/02;C01B33/035;C23C16/22;C23C16/24;C30B31/10;H01L21/205;(IPC1-7):B01J/ 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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