发明名称 |
FREMGANGSMADE TIL FREMSTILLING AF SILICIUMHULLEGEMER |
摘要 |
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申请公布号 |
DK372976(A) |
申请公布日期 |
1977.03.17 |
申请号 |
DK19760003729 |
申请日期 |
1976.08.18 |
申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FYR EL-GRUNDST MBH |
发明人 |
GRIESSHAMMER R;KOPPL F;GOPPINGER A;THALMEIER J;HAMSTER H |
分类号 |
C01B33/02;C01B33/035;C23C16/22;C23C16/24;C30B31/10;H01L21/205;(IPC1-7):B01J/ |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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