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发明名称
摘要
申请公布号
JPS529506(B2)
申请公布日期
1977.03.16
申请号
JP19720074172
申请日期
1972.07.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;C23F1/00;G03F7/40;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3213;H05K3/06
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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