| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRON BEAM ALIGNMENT WITH A MEMBER BY DETECTING CATHODOLUMINESCENCE FROM OXIDE LAYERS FOR FABRICATING CIRCUIT PATTERNS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1467521(A) |
申请公布日期 |
1977.03.16 |
| 申请号 |
GB19740024458 |
申请日期 |
1974.06.03 |
| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP |
发明人 |
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| 分类号 |
H05K3/00;H01J31/50;H01J37/304;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30;G05B13/02 |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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