| 发明名称 |
ION IMPLANTATION AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0387023(A) |
申请公布日期 |
1991.04.11 |
| 申请号 |
JP19900061444 |
申请日期 |
1990.03.13 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
FUSE HARUHIDE |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;H01L21/762 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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