| 发明名称 |
PRODUCTION OF TARGET FOR SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03173704(A) |
申请公布日期 |
1991.07.29 |
| 申请号 |
JP19890313989 |
申请日期 |
1989.12.01 |
| 申请人 |
OSAKA TITANIUM CO LTD |
发明人 |
ARIMOTO NOBUHIRO;SHIRAISHI HIROAKI;YAMAZAKI KOJI |
| 分类号 |
B22F9/10;B22F3/14;C23C14/34;(IPC1-7):B22F3/14 |
主分类号 |
B22F9/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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