发明名称 ELECTRIC POWER SOURCE FOR CHARGED BEAM
摘要
申请公布号 JPS5234199(A) 申请公布日期 1977.03.15
申请号 JP19750110232 申请日期 1975.09.11
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 KOGA KIKUO;FUKUI AKIO
分类号 H01J37/248;C22B9/22;G05F1/02;H05H5/00;H05H5/02 主分类号 H01J37/248
代理机构 代理人
主权项
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