发明名称 MANUFACTURING PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5233490(A) 申请公布日期 1977.03.14
申请号 JP19750109339 申请日期 1975.09.09
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 HIGUCHI KOUICHI;KUBOTA TAKEHIKO
分类号 H01L21/3213 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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