发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04275451(A) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 JP19910037239 申请日期 1991.03.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IMAI SHINICHI;YABU TOSHIKI;MATSUOKA KOJI
分类号 H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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