| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PLANAREN LEITERBAHNSYSTEMS FUER INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2539193(A1) |
申请公布日期 |
1977.03.10 |
| 申请号 |
DE19752539193 |
申请日期 |
1975.09.03 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
BELL,GUIDO,DIPL.-CHEM.DR. |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/88;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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