| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHLEIERFREIEN HALBLEITEROBERFLAECHEN, INSBESONDERE SCHLEIERFREIEN OBERFLAECHEN VON (111)-ORIENTIERTEM GALLIUMARSENID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2538855(A1) |
申请公布日期 |
1977.03.10 |
| 申请号 |
DE19752538855 |
申请日期 |
1975.09.01 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
LAMPERT,INGOLF |
| 分类号 |
B24B37/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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